インプラントに関する2008年06月09日18時37分のニュースページです。
Novellus、性能重視とスループット重視の最新型アッシング装置2機種を発表
SemiconductorInternational Japan -1hourago
バルクストリップと高ドーズ・インプラント・ストリップに対応。ウェーハの昇温を速めてアッシング速度を高めた結果、スループットはバルクストリップで1時間あたりウェーハ400枚以上、インプラント・ストリップで1時間あたりウェーハ300枚以上を達成した。
(2008年06月09日18時37分のニュース)